当今的电子制造不仅要求超高纯度的气体，更需要一个具备稳定性、响应速度和规模化能力的供气系统。在梅塞尔，我们提供覆盖全面的电子气产品组合，从大宗气体到特种混合气体，凭借本地化生产布局、严格的质量控制以及数十年的运营经验。我们深受领先制造商的信赖，助力客户在每一个关键工艺环节实现高精度与高可靠性的生产目标。
电子大宗气和电子特气的区别
电子大宗气是电子制造中用量最大、应用范围最广的电子级基础气体，包括氧气、氮气、氩气、氢气、氦气和二氧化碳。这些基础气体广泛应用于芯片制造的多个关键工艺环节，如清洗、纯化、保护气氛、载气及冷却等。梅塞尔提供高纯等级（最高可达 99.9999999%）的气体大宗气，通过槽车储罐、现场制气等多种模式式为客户提供连续可靠的供气服务，满足先进制造对稳定性和成本控制的双重需求。并且，我们已经在多个工厂与龙头客户建立了长期合作关系，具有丰富的交付运营经验。 如果说大宗气体是“量”的基础保障，电子特气就是“质”的工艺核心。无论是薄膜沉积、刻蚀、掺杂、还原清洗、冷却和工艺气氛控制，电子特种气体始终贯穿整个微纳制造流程，被誉为支撑电子产业发展的“血液”。电子特气的质量标准极为严苛。目前主流半导体工艺对电子特气纯度的要求已达到 5N–6N（即 99.999%–99.9999%），对杂质控制粒径要求更低至 ppt（10⁻¹²）级别。气体质量的微小波动都可能影响芯片良率，甚至造成整批产品报废。因此气体纯度、稳定性与供货保障能力直接关系到客户的生产安全与工艺良率。 在中国，梅塞尔能够提供多达 60 余种电子特气。随着中国电子工业的发展，梅塞尔持续投资设立三家生产电子特气的工厂，以就近为客户提供快速响应与本地化的危化品储运服务。对于重要客户，梅塞尔坚持价值链的自有管理，并建立各工厂之间的互为备援机制，确保在任何紧急情况下都能持续、安全地保障供气。根据气体的特性与纯度等级，梅塞尔提供集装槽、管束车、各种尺寸的钢瓶、Y瓶以及定制包装等多种交付形式。
为什么选梅塞尔为电子特气供应商
• 我们在半导体、平板显示和光伏领域拥有成熟经验。本地行业专家团队在大宗气及电子混合气体方面积累了数十年经验，熟悉电子行业对气体在安全、健康、法规、质量等方面的要求；
• 我们可提供包括整个供应链的高纯气体工程服务，包括设计、安装、调试、安全运行以及现场物流等全流程，并支持设备的搬迁、拆除和重新安装。
• 我们拥有强大的本地化生产能力和供应网络，为客户提供更快速，更可靠的响应保障。
什么是电子级氧化亚氮？
氧化亚氮，又称“笑气”，是一种无色、微甜味的气体，常用于医疗麻醉及食品工业。近年来，随着半导体制造技术的不断演进，电子级N₂O已成为先进芯片制程中不可或缺的关键材料之一。
在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺中，N₂O可在晶圆表面沉积出高质量的氧化薄膜（如SiOx），用于制造微电子器件中的电介质层，尤其适用于DRAM、CMOS、OLED等对薄膜稳定性和绝缘性能要求极高的应用场景。此外，N₂O还广泛应用于高温氧化、低温退火等环节，凭借其优异的反应稳定性和材料兼容性，有效提升了制程良率和器件性能。作为一种氧化剂，N₂O具有出色的助燃能力。在先进封装及3D结构制程中，它可用于精确控制氧含量，满足复杂工艺对环境洁净度和气氛均匀性的高要求。
值得说明的是，尽管N₂O被《京都议定书》列为温室气体，其在全球电子产业中的使用量极低，排放量占比不足1%，对气候变化影响可忽略不计。
梅塞尔采购进口一线品牌成套设备，辅以多年生产及品质管控经验，在苏州、滁州及眉山工厂生产氧化亚氮，总的年生产能力达8400吨。
什么是电子级二氧化碳？
电子级二氧化碳（CO₂）是一种用于半导体、显示器、MEMS、先进封装等工艺的高纯度气体，典型纯度可达5N（99.999%）以上。相较普通CO₂，电子级产品对酸性杂质、有机残留、水分和颗粒的控制更加严苛，可有效避免对精密器件造成污染，保障高良率制造。
得益于其独特的物理性质，电子级CO₂可在接近常温低压下液化，便于在厂内以液态或超临界态形式输送和使用。在微结构清洗中，它兼具良好溶解力和扩散性，能高效去除光刻胶、有机物和颗粒，避免传统湿法带来的残留、翘曲和热应力影响，特别适合应用于低k材料、高密度互联结构和高精度图形的保护清洁。
超临界CO₂更因其低表面张力、高渗透力和出色的溶剂性能，被广泛应用于刻蚀后清洗（Post-Etch Cleaning）、EOL末端去残、封装预处理等关键环节。在等离子清洗、表面调理、前后段分离和特定EUV制程平台中，CO₂也成为理想的辅助气体，有助于提升制程稳定性与洁净度。
梅塞尔在苏州、滁州和梅山设有电子级二氧化碳生产基地，年产能达7500吨。凭借进口一线品牌成套设备及多年生产与质量管控经验，我们可持续提供高纯度、高可靠性的电子级二氧化碳。梅塞尔在中国的本地化布局，确保更快速的响应和更灵活的交付。同时，我们可根据客户的制程特点，提供定制化的供气系统与技术支持，助力客户实现工艺优化。
什么是乙硼烷混气？
乙硼烷（B₂H₆）是一种常见的高活性电子特气，常以混合气形式应用于半导体和太阳能行业中的关键工艺环节。它在室温下为无色气体，具有刺激性气味，由于其化学性质极不稳定，通常不会以纯气形式使用，而是与氮气、氢气或氦气等载气混合后供应，以确保使用的安全性与稳定性。
在半导体制造中，乙硼烷是重要的掺硼源气体，广泛应用于硅基芯片的离子注入或外延生长等掺杂工艺。掺硼过程是决定晶体管导电特性和开关效率的关键步骤，直接影响器件的响应速度与功耗表现。随着先进制程节点向5 nm及以下发展，对气体纯度与注入均匀性的要求也在持续提升，乙硼烷混合气在晶圆厂的稳定供气中扮演着不可替代的角色。
在太阳能电池领域，乙硼烷主要用于制造薄膜太阳能电池，特别是铜铟镓硒（CIGS）技术路线中作为掺杂源气体之一，帮助提升电池的转换效率与载流子浓度。当前，随着绿色能源发展加速，乙硼烷混合气也在多个光伏项目中实现规模化应用。
在中国，梅塞尔已建立起完善的乙硼烷混合气本地化生产与供应体系。我们在滁州配备了一套现代化乙硼烷混气工厂，采用欧洲进口设备并结合自主工艺路线，确保气体生产过程的稳定与安全。同时，苏州和眉山两地的分装基地构成灵活的配送网络，可满足不同地区客户的交付需求。得益于丰富的应用经验与专业物流支持，梅塞尔能够根据客户需求定制气体纯度、包装形式及供气模式。
